Silicon Microstructures: Niedrig-Differenzdrucksensor mit außerordentlicher Langzeitstabilität

SMI (Silicon Microstructures, Inc.), eine Tochtergesellschaft der Elmos, stellt mit der SM933X-Serie MEMS-Drucksensorsysteme für extremen Niedrigdruck vor. Der vollständig temperaturkompensierte und druckkalibrierte Sensor mit Druckbereichen von nur 125 Pa (0,50inch / 1,27cm inH2O) ermöglicht eine präzise Druckmessung in Klimatisierungen sowie industriellen und medizinischen Anwendungen. Die Ausgangsgenauigkeit (1% FS) und Langzeitstabilität ist weltweit branchenführend. Dies wird durch die Kombination des MEMS-Drucktransducers mit einem Signalkonditionierungs-IC in einem Gehäuse erreicht.

Das Sensorsystem ist in zwei Konfigurationen erhältlich: SM9333 mit einem Druckbereich von +/- 125 Pa (0,50inch inH2O) und SM9336 mit einem Druckbereich von +/- 250 Pa (1inch / 2,54cm in H2O). Der Gesamtgenauigkeitsfehler nach Aufbringung auf der Platine und System-Level-Autozero beträgt weniger als 1% FS über den gesamten kompensierten Temperaturbereich von -20° bis 85°C. Die 16-Bit-Auflösung bietet die Möglichkeit, Signale bis zu 0,0038 Pa zu verarbeiten. Die lange Lebensdauer des Sensors wird durch das optimierte Aufwärmverhalten und die Langzeitstabilität unterstützt.

Die Systemversorgung reicht von 3,0 bis 5,5 V und ist für Low-Power-Anwendungen mit geringer Stromaufnahme, zusätzlich optimiert durch den verfügbaren Sleep-Modus, entwickelt worden. Die ASIC-Architektur und Rauschfilterung liefert ein geringes Rauschen und eine extrem geringe EMV-Anfälligkeit.

Das kleine SO16-Gehäuse mit doppelt vertikalem Anschluss ermöglicht eine einfache Systemintegration und Druckverbindung. Der MEMS-Sensor verfügt über einen hohen Berstdruck sowie einer Unempfindlichkeit gegenüber Montagepositionen und Vibrationen.

Applikationsbeispiele: Klimaanlagen, CPAP und Drucktransmitter

Der SM933X ist die Lösung für Durchflussmessung-Anwendungen, da er unabhängig von der Schlauchlänge hohe Leistung liefert und nicht durch Partikel im Luftstrom beeinflusst wird. Der Sensor ist vielseitig einsetzbar als Sensor in Klimatisierungsanlagen, zur Bestimmung der Luftströmung in Systemen mit variabler Luftmenge (VAV) und zur Erkennung der Filtersauberkeit in z.B. Zentrallüftungsgeräten (AHU).

Im medizinischen Markt werden Ultra-Low-Pressure-Sensoren zur CPAP-Durchflussmessung eingesetzt. Die Integration und Verwendung in CPAP-Geräten wird durch die Unempfindlichkeit des Sensors gegenüber der Montageausrichtung, seine hohe Auflösung und seine geringe Geräuschentwicklung erleichtert. Darüber hinaus verbessert der SM933X die Druckmessung in industriellen Anwendungen und ersetzt kostspielige Geräte, die aus mehreren Komponenten bestehen, mit einem einzigen Sensorsystem in einem kleinen Gehäuse und inhärenter Langzeitstabilität. Zu den wichtigsten Anwendungen gehören Drucktransmitter und Druckschalter.

„Wir freuen uns, dem Markt die nächste Generation der von uns entwickelten Ultraniedrig-Drucksensoren vorzustellen. Wir haben sehr positives Feedback von unseren Kunden erhalten. Die neue Produktlinie ermöglicht vielfältige Anwendungsmöglichkeiten in medizinischen und industriellen Geräten", sagt Omar Abed, CEO von SMI.

Weitere Informationen und das SM933X-Datenblatt finden Sie  auf der Produkt-Webseite http://www.si-micro.com/…

Über SMI
SMI ist eine Tochtergesellschaft der Elmos Semiconductor AG. SMI ist nach ISO / TS 16949: 2009 zertifiziert und ein führender Entwickler und Hersteller von MEMS-basierten Drucksensoren für unterschiedliche Märkte. Das Unternehmen verfügt über 25 Jahre Erfahrung in der Entwicklung und Produktion von Drucksensoren. SMI bietet die empfindlichsten und kleinsten MEMS-Drucksensoren, die derzeit weltweit erhältlich sind.

Über Elmos
Elmos entwickelt, produziert und vertreibt Halbleiter und Sensoren vornehmlich für den Einsatz im Auto. Unsere Bausteine kommunizieren, messen, regeln sowie steuern Sicherheits-, Komfort-, Antriebs- und Netzwerkfunktionen. Seit über 30 Jahren ermöglichen Elmos-Innovationen neue Funktionen und machen die Mobilität weltweit sicherer, komfortabler und energieeffizienter.

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